定期進行泄漏檢測對于確保真空系統(tǒng)的性能至關重要，尤其是在生產環(huán)境中使用的設備，它們隨著時間的推移幾乎不可避免地會降低真空度，而泄漏是造成這種性能下降的常見原因。

    泄漏現象并非總是顯而易見的。在某些情況下，盡管真空測量的讀數仍在正常范圍內，但輕微的泄漏仍可能導致不需要的氣體（如氧氣）進入，這可能對特定工藝（如某些電鍍工藝）產生嚴重影響。因此，無論真空系統(tǒng)的壓力是否明顯降低，定期進行泄漏檢測都是必要的。

區(qū)分實漏和虛漏

    在泄漏測試過程中，區(qū)分實漏和虛漏是至關重要的。實漏指的是真正的氣體泄漏，而虛漏則是由真空室內表面的污染造成的，真空室釋放出緩慢釋放的死區(qū)氣體或氣體。實漏可以通過氣密性檢測儀檢測到，而氣體釋放現象可以通過清潔真空腔內的表面來解決。防止虛漏應在設計和制造階段避免容易導致虛漏的結構或工藝。

    評估真空系統(tǒng)是否存在實漏的方法包括泄壓曲線分析和增壓測試。通過將當前泄壓曲線與歷史數據進行比較，分析泄壓曲線可以快速識別問題的原因。增壓試驗，也稱為保壓試驗，通過測量泵關閉后腔的增壓率，以及腔與泵之間的閥處于真空狀態(tài)，可以判斷是否存在泄漏或氣體釋放現象。

區(qū)分外部泄漏和內部泄漏

    外部泄漏通常指從外部泄漏到真空腔內部，而內部泄漏是發(fā)生在真空腔之間的泄漏，應隔離。檢測內部泄漏的能力通常需要通過段壓保持方法進行預測，然后拆卸可疑部分進行泄漏檢查。動態(tài)泄漏是真空系統(tǒng)中移動部件在移動時可能發(fā)生的泄漏現象，通常需要模擬移動狀態(tài)以檢測泄漏測試。

    真空系統(tǒng)的泄漏檢查是保證系統(tǒng)正常運行的一個重要方面，需要采用多種方法進行綜合評估，并采取適當的預防和糾正措施。在進行泄壓曲線分析時，必須確保一致的測試條件，以便輕松比較不同時間的數據。