在挑選一款新的檢測儀時(shí)，需要考慮實(shí)際成本，氣密性檢測儀影響成本的關(guān)鍵是精度和壓力范圍，高精度通常會(huì)帶來更高的成本，選擇檢測儀時(shí)要考慮的因素有哪些，我們一起來看看吧。

檢測儀選擇

    在深入探討主要選項(xiàng)之前，讓我們先了解儀表的類型，檢測儀主要分為兩大類：直接式檢測儀和間接式檢測儀。

    直接式檢測儀

    直接檢測儀提供與氣體類型無關(guān)的真空系統(tǒng)壓力（因此也被稱為不依賴氣體的檢測儀），它們僅在10^-4mbar以上的壓力下有效工作。這是因?yàn)樗鼈円蕾囉谙到y(tǒng)中具有物理效應(yīng)的分子，而在較低壓力下，這些分子的數(shù)量不足以產(chǎn)生可測量的效果。它們包括：

    壓電陶瓷：精確測量真空和超壓，低至1mbar左右，此時(shí)精度會(huì)發(fā)生變化。

    機(jī)械刻度盤：提供壓力的視覺指示，在需要本地顯示的應(yīng)用中非常有用。

    電容：具有高精度，能夠測量從大氣壓到10^-4mbar的壓力。

    間接式檢測儀

    間接檢測儀通常依賴于兩種方法：熱傳遞或電離，這兩者都取決于氣體類型。這些儀表分為三種主要類型：

    皮拉尼（熱式檢測儀）：用于粗真空到中等真空，通常作為精度不太重要的壓電/電容式檢測儀的廉價(jià)替代品。

    冷陰極（電離檢測儀）：用于中高真空，用于指示壓力。

    熱陰極（電離檢測儀）：用于中高真空，比冷陰極精度更高，范圍更廣。缺點(diǎn)是功率更高，并且容易受到振動(dòng)/沖擊空氣沖擊的影響。

    市場上看到的大多數(shù)儀表都是有源的，帶有電子元件進(jìn)行信號(hào)處理，以提供簡單的0-10V或其他板載輸出。然而，在有大量輻射的環(huán)境中，這根本不行，因?yàn)殡娮釉O(shè)備會(huì)損壞。在這些情況下，您可以獲得將電子元件移動(dòng)到控制器中的儀表版本，該控制器可以放置在遠(yuǎn)離輻射區(qū)域的位置。

真空度和精度

    真空度可能是最關(guān)鍵的考慮因素，它會(huì)影響其他每個(gè)因素，典型的分類和范圍包括：

    粗真空：從大氣壓以上到1mbar、中真空：1mbar至10^-3mbar、高真空度：10^-3mbar至10^-9mbar、超高真空：10^-9mbar至10^-12mbar

    需要不同的檢測儀技術(shù)來實(shí)現(xiàn)不同的真空壓力范圍，根據(jù)目標(biāo)真空度，可能需要混合使用檢測儀才能在整個(gè)泵送范圍內(nèi)進(jìn)行測量。

    粗真空/中真空檢測儀：有多種選擇，包括直接檢測儀和間接檢測儀，因此了解過程要求對于選擇正確的檢測儀至關(guān)重要。

    高真空和超高檢測儀：選擇略少，該區(qū)域以熱陰極或冷陰極型檢測儀為主，兩者都是間接檢測儀。

    一般來說，在粗真空至中真空下工作的檢測儀比在中真空至超高真空下工作的檢測儀具有更高的精度，直接儀表也比間接儀表更準(zhǔn)確。直接式壓力表的精度通常在0.2%到2%之間，其精度會(huì)隨著壓力的下降而降低。間接量規(guī)通常在10%到30%之間變化，具體取決于產(chǎn)品類型，但在其范圍內(nèi)具有一致的精度。

工藝或應(yīng)用對儀表的影響

    過程影響儀表的方式在選擇中起著重要作用，需要仔細(xì)評(píng)估應(yīng)用對所選量具技術(shù)的影響。

    電容式檢測儀通過電氣測量由真空度波動(dòng)引起的隔膜上的小撓度來提供高精度，高精度會(huì)帶來更高的成本，以及更集中的測量范圍。

    在粗真空/中真空中尤其如此，電容檢測儀比壓電檢測儀貴得多。通常兩種壓力表類型可以一起使用或集成為一種，以便在更寬的壓力范圍內(nèi)進(jìn)行測量，從而導(dǎo)致集成壓力表的成本更高。為選擇正確的檢測儀需要了解您的真空度和數(shù)據(jù)需求。