真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響其密封性和漏率的關(guān)鍵因素，結(jié)構(gòu)的合理性直接關(guān)系到系統(tǒng)的密封性能和漏率。

    1.盡量避免小半徑死角，通過仔細(xì)研磨、拋光和清潔，確保過渡平滑。

    2.對(duì)排氣管道、供氣管道等與真空室的連接處采用圓弧過渡，以確保氣流順暢，同時(shí)考慮清潔的便利性。

    3.仔細(xì)設(shè)計(jì)真空室內(nèi)各種接頭的結(jié)構(gòu)，確保氣流順暢，防止堵塞。

    4.將真空系統(tǒng)的內(nèi)表面拋光至高光澤，因?yàn)楦恋谋砻娌灰孜綒怏w，有助于實(shí)現(xiàn)真空。

    5.盡量減小真空室的體積，縮短管道系統(tǒng)的長度。

    密封形式的選擇：

    密封形式的選擇取決于所需的真空度水平和具體的操作需求。

    水冷條件下的密封區(qū)域通常達(dá)到約80°C，部分部位甚至超過100°C。因此，必須選擇理想的密封材料。

    用于真空密封的橡膠材料必須表面光滑，無劃痕或裂紋。此外，它們應(yīng)具有低滲透性和出氣率，優(yōu)異的耐熱性和耐油性，以及足夠的強(qiáng)度、硬度和彈性。