為確保氦氣檢漏儀的性能，需要每年一次定期維護，下面給大家?guī)須饷苄詸z測儀維護校準規(guī)范，一起來了解下吧。

泵油更迭

    橡膠O形圈，校準漏孔、皮拉尼傳感器、閥塊、測試端口適配器、離子源、背襯管、入口及預(yù)泵入口，都需要及時替換。多模式設(shè)備監(jiān)測，在參考泄漏下，檢漏儀的性能需在各種模式下接受嚴格審視，確保儀器精準無誤。

系統(tǒng)密封性校準

    檢漏儀內(nèi)部系統(tǒng)密封性測試、系統(tǒng)校準、真空測試及量油尺性能檢查調(diào)整。承包商依據(jù)制造商計劃執(zhí)行維護，泵油更換、過濾器清潔與替換、密封件更換。

壓力檢查指示

    承包商通過儀器檢查設(shè)備產(chǎn)生的控制壓力，并在適當時輸入指示器。參比泄漏反應(yīng)，執(zhí)行者通過儀器檢查對參比泄漏的反應(yīng)，確保儀器對細微變化亦能敏銳感知。

    對成品氦氣檢漏儀進行測試，并配置軟件以匹配參考泄漏的記錄。對公司的真空設(shè)備狀況進行定期監(jiān)測，保持所需的真空水平并控制真空系統(tǒng)參數(shù)，清潔內(nèi)部系統(tǒng)，去除可能導(dǎo)致錯誤和降低測量精度的污染物和堆積物。