質(zhì)譜法是一種基于電離后，在電場(chǎng)和磁場(chǎng)中，根據(jù)其質(zhì)量與電荷比，從伴隨氣體混合物中分離出泄漏的試驗(yàn)物質(zhì)并檢測(cè)其穿透的方法。該方法具有兩種實(shí)現(xiàn)模式：直接流模式：在注冊(cè)試驗(yàn)氣體（如氦氣）的過程中，試驗(yàn)氣體直接進(jìn)入漏氣檢測(cè)儀的分析器。對(duì)流模式：試驗(yàn)氣體通過高真空泵的出口進(jìn)入漏氣檢測(cè)儀的分析器，擴(kuò)散方向與被抽吸氣體流動(dòng)方向相反，下面給大家介紹下多種泄漏檢測(cè)方法。

    鹵素法

    鹵素法基于通過泄漏檢測(cè)到的含有鹵素的試驗(yàn)物質(zhì)，在鹵素含量試驗(yàn)物質(zhì)接觸到加熱的金屬（鉑）表面時(shí)，導(dǎo)致正離子發(fā)射量增加。

    電子捕獲法

    電子捕獲法通過記錄漏氣探測(cè)器中放電間隙電導(dǎo)率的變化來檢測(cè)泄漏。當(dāng)負(fù)電性試驗(yàn)氣體通過漏縫進(jìn)入時(shí)，會(huì)引起電導(dǎo)率的變化，從而被檢測(cè)到。

    等離子法

    等離子法基于通過泄漏進(jìn)入的負(fù)電性試驗(yàn)氣體，通過高頻發(fā)生器振蕩頻率的變化來檢測(cè)。

    氣泡法

    氣泡法是一種基于檢測(cè)試氣通過被測(cè)對(duì)象的泄漏點(diǎn)進(jìn)入液體或發(fā)泡指示覆蓋層中的氣泡的方法。該方法簡(jiǎn)單直觀，廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)場(chǎng)景。

    儀表法

    儀表法基于記錄控制對(duì)象中由于試驗(yàn)物質(zhì)通過控制對(duì)象的泄漏而引起的超壓變化。通過監(jiān)測(cè)壓力變化，可以有效評(píng)估泄漏情況。

    真空計(jì)法

    真空計(jì)法基于記錄由于試漏物質(zhì)通過泄漏進(jìn)入物體而引起的殘余壓力變化。該方法適用于真空環(huán)境下的泄漏檢測(cè)。

    化學(xué)方法

    化學(xué)方法基于通過泄漏的試驗(yàn)物質(zhì)與指示劑反應(yīng)所產(chǎn)生化學(xué)效應(yīng)的登記。通過化學(xué)反應(yīng)，可以直觀地觀察到泄漏的存在。

    紅外方法

    紅外方法基于檢測(cè)通過被測(cè)對(duì)象泄漏進(jìn)入的試樣的選擇性吸收紅外輻射的作用。

    熱導(dǎo)率法

    熱導(dǎo)率法基于記錄通過泄漏進(jìn)入的試氣與周圍環(huán)境熱導(dǎo)率的差異。通過測(cè)量熱導(dǎo)率的變化，可以推斷出泄漏的存在。