氣密性檢測儀真空泵主要功能是產(chǎn)生足夠的真空度，以便檢測泄漏現(xiàn)象，油潤滑旋片真空泵是其中最常用的類型之一，其工作原理基于機械抽吸與注氣，一起來了解下吧。

油潤滑旋片真空泵原理

    這種泵通過旋轉(zhuǎn)帶有凹槽的圓柱形轉(zhuǎn)子來實現(xiàn)工作介質(zhì)的移動，轉(zhuǎn)子內(nèi)部嵌有金屬或石墨制成的葉片。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，腔體體積逐漸增大，氣體通過吸孔窗口進入這些腔體。隨后，氣體被壓縮，并通過出口排出，從而實現(xiàn)抽氣過程。

    渦旋真空泵

    除了油潤滑旋片真空泵，渦旋真空泵也是一種可行的選擇。它們同樣基于氣體壓縮原理，但采用渦旋轉(zhuǎn)子形成可變體積的腔室。這些泵通常體積更小、效率更高，并且能夠提供更高的真空度，使其在需要高精度測量的應(yīng)用中極具吸引力。

    真空法

    通過真空抽氣系統(tǒng)在測試對象內(nèi)部產(chǎn)生真空，同時從外部供應(yīng)測試氣體。檢漏儀與真空系統(tǒng)并聯(lián)運行。當發(fā)生泄漏時，氣體會進入測試產(chǎn)品的空腔，并被檢漏儀檢測到。泄漏程度應(yīng)根據(jù)記錄的測試氣體流速來確定。

測試氣體施加方法

    從測試產(chǎn)品外部施加測試氣體的方法主要有兩種：

    1.密封外殼法：將測試品放置在充滿測試氣體的密封外殼或腔室中。此方法能夠確定通過對象的泄漏速率。

    2.吹掃法：適用于查找泄漏點，使用來自鋼瓶的加壓氣槍局部注入測試氣體。

如何選擇真空泵

    油潤滑旋片真空泵與渦旋真空泵之間的選擇取決于多個因素，包括：

    檢漏儀的尺寸、所需的真空度、泵的速度、安全要求

泄漏檢測程序

    為了檢測真空系統(tǒng)中的泄漏，必須監(jiān)測受控區(qū)域中氦分子濃度的增加。首先，樣品量必須充分減壓，以確保檢漏儀（真空法）的正常運行。如果樣品量較大，則使用最大壓力為1mbar的獨立預(yù)真空泵產(chǎn)生真空。對于小樣品量，可以使用內(nèi)置的檢漏儀抽真空系統(tǒng)直接抽空系統(tǒng)，以在檢漏室中產(chǎn)生最小壓力。

    在系統(tǒng)和分析室中達到所需的壓力后，便可開始泄漏檢測程序。如果系統(tǒng)中存在氦分子，當它們進入檢漏儀時，將被調(diào)諧到氦原子量的質(zhì)譜儀檢測到。此信息立即傳輸?shù)竭B接到檢漏儀的控制器，控制器隨后輸出記錄的泄漏值。最后，必須識別并消除被測系統(tǒng)中的故障，確保其達到預(yù)期的密封性能。